Genomförd forskning Ramanslag inom mikrosystemteknik Projekt Mikrohydraulik, mikropneumatik och on-chip drive Mikrohydraulik, mikropneumatik och on-chip drive Diarienummer A3 02:107 Start- och slutdatum 020101-061231 Beviljat belopp 4 750 000 kr Förvaltande organisation Uppsala University Forskningsområde Materialvetenskap och materialteknologier Summary Populärvetenskaplig beskrivning